国家知识产权局信息显示，深圳扩维原子新材料有限公司取得一项名为“低温沉积装置”的专利，授权公告号CN224430710U，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种低温沉积装置，包括沉积室，所述沉积室内部具有沉积腔，所述沉积室设置有供单原子或者团簇粒子自上而下进入所述沉积腔的进料口，所述沉积腔内设置有用于放置供单原子或者团簇粒子沉积其上的沉积载体的安装位，所述安装位与所述沉积腔之间设置有冷却机构以对沉积载体进行降温，所述沉积室还设置有供气体进出的进气口和出气口；本实用新型通过冷却机构实现对沉积载体的稳定深度低温冷却，最低温度可达-120℃，能精准调控团簇粒子尺寸，满足特定粒子形态和分布要求，助力团簇定向生长与形态控制；同时，低温环境可减少单原子/团簇粒子在沉积过程中的扩散范围，使其更集中地沉积在衬底表面，有效提高沉积效率与质量稳定性。

天眼查资料显示，深圳扩维原子新材料有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2300万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳扩维原子新材料有限公司参与招投标项目1次，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可14个。

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